با ظهور سیستم های نانو الکترومکانیکی ([1] NEMS) و توسعه سیستم های میکروالکترومکانیکی (MEMS) ، درک میکرو مکانیسمی رفتار تغییر شکل مواد در سطح نانومتری به فوریت مورد نیاز است. علاوه بر این، عناصر میکرو ساختاری مورد استفاده در سیستم های میکروالکترومکانیکی (MEMS)  تقریبا عاری از نقص هستند [2]. بنابراین بررسی روند تغییر شکل و [...]